vivos5怎么设置双重曝光_vivos5怎么设置双系统
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三星申请制造半导体器件的方法(黑帽seo引流公司),提高半导体器件的产品可靠性和...一种制造半导体器件的方法，通过在基板的不同区域上分别形成以不同间隔设置的多个线图案并对多个线图案应用双重图案化工艺，即使没有在不同区域中的任何一个上额外执行曝光工艺，也可以实现期望的掩模图案。这种方法可以提高半导体器件的产品可靠性和制造经济可行性。本文源说完了。
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